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按后級空氣過濾器的級別進(jìn)行分類，可分為空氣過濾器潔凈工作臺和超空氣過濾器潔凈工作臺，對于非單向流潔凈工作臺而言，風(fēng)量是其重要的性能，JG/T-《潔凈工作臺》中給出了潔凈工作臺換氣次數(shù)范圍及額定風(fēng)量允許波動范圍。

生產(chǎn)凈化設(shè)備遵循“求實(shí)、求真、創(chuàng)新”的經(jīng)營原則，堅(jiān)持“客戶至上”的經(jīng)營理念，以良好的設(shè)計(jì)、良好的品質(zhì)、高效的管理、完善的技術(shù)服務(wù)在整個凈化行業(yè)中樹立了良好的企業(yè)形象。并以合理的價(jià)格，令客戶滿意的質(zhì)量以及良好的服務(wù)贏得大批客戶。

工作臺的特點(diǎn)：分為輕型工作臺和重型工作臺；組裝結(jié)構(gòu)、組裝簡便、強(qiáng)度高、多種工作臺臺面選擇（掛板、電器板、燈頂板、擱板等臺上部件），可配合不同的使用要求；加裝工具柜后，更能合理地使用空間，存放工具及零配件。

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凈化單元包括風(fēng)機(jī)、過濾器及均流層等；，具體測試方法：在潔凈工作臺操作口邊緣外側(cè)所毗連的周圍環(huán)境中，利用大氣塵或多分散氣溶膠作為污染源，用激光粒子計(jì)數(shù)器或光度計(jì)在操作口邊緣內(nèi)側(cè)巡檢，巡檢速度在mm/s以下。

Chase），將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風(fēng)扇（FanFilterUnit或FFU）帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。

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