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Chase），將潔凈室之循環(huán)風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風扇（FanFilterUnit或FFU）帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經過超高性能過濾網（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應至Fab區(qū)。

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其工作原理為，線接入電路中有定的順序，如線頭接錯了，風機會反轉，這時聲音正常或稍不正常，超凈臺正面無風（可用酒精燈火焰觀察動靜，不宜久試），應及時切斷電源，只將其中兩相的線頭交換下位置再接上，就可解決。

預過濾器對保護末端過濾器或超過濾器具有重要作用；，合理的風速大小不僅可以操作區(qū)的潔凈度，還需盡量短的自凈時間和操作區(qū)抗污染干擾的能力；不均勻的速度場會增加速度的橫向脈動性，流線間的摻混或產生渦流，有造成操作區(qū)樣品交叉污染的風險。

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風速、風速不均勻度，目前JG/T-《潔凈工作臺》中要求截面風速范圍為，m/s~，具體的風速及不均勻度測試方法可參照JG/T-《潔凈工作臺》，此外，對于進風口設置在潔凈工作臺操作人員腿部的情況，為不產生操作者腿部吹風感，要求進風風速不超過m/s。

圖片，潔凈工作臺，是在操作臺面的空間部地形成無塵無菌狀態(tài)的裝置，在衛(wèi)生、生物制、食品、生物學實驗等領域廣泛應用，其對于微生物學無菌操作技術，如、配液、分離培養(yǎng)等需要保護操作樣品免受污染的微生物操作適用。