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cfu/（皿，h），氣流狀態(tài)，采用可視煙霧發(fā)生器發(fā)生煙霧可以直觀觀察潔凈工作臺工作區(qū)內(nèi)單向氣流流型，要求各截面測試過程中均不出現(xiàn)向上氣流，即無回流或渦旋，噪聲和照度屬于人員舒適性，但其均能對操作者本身產(chǎn)生定影響進(jìn)而影響實(shí)驗(yàn)操作。

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圖根據(jù)氣流方向進(jìn)行分類的潔凈工作臺，根據(jù)空氣過濾器級別分類，m（相當(dāng)于操作人員在操作時耳部位置）處測量，然后關(guān)閉潔凈工作臺風(fēng)機(jī)，在相同位置測量背景噪聲，并根據(jù)測得的背景噪聲對測試結(jié)果進(jìn)行相應(yīng)的修正；。

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Chase），將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風(fēng)扇（FanFilterUnit或FFU）帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。